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為什么要使用三氟化氮檢測儀?三氟化氮有什么危害?

更新時間:2022-02-21  |  點擊率:1272

為什么要使用三氟化氮檢測儀?三氟化氮有什么危害?

三氟化氮(nitrogen trifluoride)化學(xué)式NF?,在常溫下是一種無色、無臭、性質(zhì)穩(wěn)定的氣體,是一種強氧化劑。三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體,在離子蝕刻時裂解為活性氟離子,這些氟離子對硅和鎢化合物,高純?nèi)哂袃?yōu)異的蝕刻速率和選擇性(對氧化硅和硅),它在蝕刻時,在蝕刻物表面不留任何殘留物,是非常良好的清洗劑,同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用。


東日瀛能 SK/MIC-600-NF3-Y 在線式三氟化氮檢測儀

三氟化氮是低毒性物質(zhì),但是它能強烈刺激眼睛、皮膚和呼吸道粘膜,腐蝕組織。吸入高濃度NF3可引起頭痛、嘔吐和腹瀉。長期吸入低濃度NF3能損傷牙齒和骨骼,使牙齒生黃斑,骨骼成畸形。具有強氧化性。與還原劑能發(fā)生強烈反應(yīng),引起燃燒爆炸。與易燃物(如苯)和有機物(如糖、纖維素等)接觸會發(fā)生劇烈反應(yīng),甚至引起燃燒。受高熱發(fā)生劇烈分解,甚至發(fā)生爆炸。大鼠吸入1000ppm·l小時末見死亡,但出現(xiàn)高鐵血紅蛋白血癥,當(dāng)吸入10000ppm·l小時有死亡,在2500ppm時吸毒后4小時死亡。容許濃度:10ppm(29mg/m3)

如何才能不超過這個10ppm濃度限制呢?就需要用到三氟化氮檢測儀,使用東日瀛能三氟化氮氣體濃度檢測儀可以檢測其濃度,固定式三氟化氮檢測儀安裝于氣體最易泄露的地點,其核心部件為氣體傳感器,當(dāng)三氟化氮泄露后揮發(fā)出來的氣體傳感器接觸反應(yīng),固定式三氟化氮監(jiān)測儀便會啟動自身的報警功能聲光報警,警醒工作人員。


東日瀛能 SK/MIC-800-NF3-Y 便攜式三氟化氮檢測儀

工作人員另外可佩戴便攜式三氟化氮檢測儀。便攜式三氟化氮泄漏檢測儀可連續(xù)檢測作業(yè)環(huán)境中三氟化氮濃度。采用進口電化學(xué)傳感器,具有很好的靈敏度和出色的重復(fù)性;三氟化氮檢測儀采用嵌入式微控制技術(shù),菜單操作簡單、功能齊全、可靠性高。


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