半導(dǎo)體行業(yè)中氣體檢測(cè)儀的應(yīng)用

智能手機(jī)、平板電腦、游戲機(jī)、導(dǎo)航系統(tǒng)、純平顯示器，這些以及其他很多高科技產(chǎn)品由于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)才得以存在。在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線制程工藝中，會(huì)使用到特種工藝氣體，也會(huì)產(chǎn)生大量危險(xiǎn)性氣體，需要使用氣體檢測(cè)儀對(duì)空氣中有毒有害氣體含量進(jìn)行檢測(cè)，防止因氣體泄漏，導(dǎo)致危險(xiǎn)發(fā)生。

（東日瀛能 SK/MIC-800-GAS-Y 便攜式氣體檢測(cè)儀）

特種工藝氣體

目前，應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的特種氣體有110余種，常用的有20-30種。

按其危險(xiǎn)性分類(lèi)可分為：惰性氣體、易ran氣體、毒性氣體、腐蝕性氣體、氧化性氣體、低溫氣體。

1惰性氣體

不可燃?xì)怏w有N2、Ar、He等，它們具有窒息性，即取代肺中的氧氣后能讓人窒息而死。

2易ran氣體

易ran氣體有C2H2、H2、CH4、SIH4、PH3、NH3等，它們具有窒息性，可燃性，其中有些氣體如H2、CH4、SIH4、PH3還具有爆炸的可能性。

3毒性氣體

毒性氣體有AsH3、PH3、COCL2等,它們的毒性對(duì)身體有害，有的可能造成人員中毒死亡。中毒途徑有吸人、吸收(通過(guò)皮膚)、吞食、注射(通過(guò)傷口)。

4腐蝕性氣體

腐蝕性氣體可分為低腐蝕性氣體如HF、BCL3、和高腐蝕性氣體如HCL、BF3、二氯甲烷(DCS)、三lv甲烷(TCS)及三氯化氯(CLF3)等，它們具有摧毀人的生理組織以及腐蝕設(shè)備的危害。

5氧化氣體

氧化性氣體有O2、N20等它們具有助燃性、高反應(yīng)性。

6低溫氣體

低溫液體是指在常壓下沸點(diǎn)低于-240，例如：液氧、液氬、液氮、液氫、液氦。它們的低溫可能會(huì)引起凍傷，以及引起周?chē)锲返膿p傷危險(xiǎn)，包括過(guò)冷、過(guò)大的體積膨脹。

（東日瀛能 SK-7500-GAS-Y 固定污染源廢氣氣體在線監(jiān)測(cè)預(yù)處理系統(tǒng)）

廢氣

半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過(guò)程中，會(huì)產(chǎn)生大量的有毒有害氣體

主要包括：酸堿廢氣和有機(jī)廢氣兩類(lèi)。

酸/堿廢氣包括：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。

有機(jī)廢氣包括：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；

主要危害：

半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線的切題危害，主要是器件清洗等表面處理過(guò)程中因使用一些化學(xué)藥劑（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機(jī)鹵化物）揮發(fā)造成的，以及整機(jī)裝配過(guò)程中產(chǎn)生的粉塵，會(huì)造成人群慢性或急性中毒。

檢測(cè)儀器

東日瀛能SK/MIC-600-GAS-Y固定式可燃有毒有害氣體濃度檢測(cè)儀與SK/MIC-800-GAS-Y便攜式可燃有毒有害氣體濃度檢測(cè)儀采用進(jìn)口傳感器，抗中毒，高穩(wěn)定性高精度，可實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)其濃度，自帶顯示與聲光報(bào)警。固定式自帶4-20MA、RS485以及開(kāi)關(guān)量輸出，可定制無(wú)線傳輸數(shù)據(jù)，高低報(bào)警值自由設(shè)置，當(dāng)氣體濃度超標(biāo)時(shí)，自動(dòng)發(fā)出85dB以上的報(bào)警聲響，聯(lián)動(dòng)排氣扇等設(shè)備，做出相應(yīng)的防護(hù)動(dòng)作。精度高、穩(wěn)定性強(qiáng)、誤差率低；配備工業(yè)級(jí)鋁合金防護(hù)外殼，堅(jiān)固耐用。

（東日瀛能 SK/MIC-600-GAS-Y 固定式氣體檢測(cè)儀）